4.位移分辨率：≤0.02nm；位移噪音背景: ≤1nm；

5.安裝于掃描電鏡中，可以精確施加載荷，檢測(cè)位移，在電鏡下做壓痕、拉伸、彎曲、壓縮測(cè)試；可以借助掃描電鏡的的高分辨率，觀測(cè)并記錄整個(gè)材料測(cè)試過(guò)程，觀測(cè)材料在力下發(fā)生的動(dòng)態(tài)變化，如金屬蠕變、相變、斷裂起始等。該設(shè)備可以將材料的力學(xué)數(shù)據(jù)（載荷-位移曲線）與相應(yīng)SEM視頻之間實(shí)現(xiàn)時(shí)間同步，可以在整個(gè)測(cè)試過(guò)程中極其精確地定位壓頭并對(duì)變形過(guò)程成像的同時(shí)，能準(zhǔn)確得到定量的載荷和位移的數(shù)據(jù)。